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VAT工易谷自营店
自营
产品数量:13

VAT公司由SiegfriedSchertler于1964年创立,是一家总部位于瑞士Hagg(靠近St. Gallen)的跨国公司。在真空阀门、模组、波纹管、半导体及真空镀膜行业的相关服务、研发领域,是研发和制造商。VAT面向客户的业务被分为了3个区域:美洲,基点在马萨诸塞州和加利福尼亚州;欧洲、中东和非洲(EMEA),基点在慕尼黑;以及亚洲。每个区域在主要的国家都设立了销售、服务和工程支持处,确保客户能够随时获得良好的建议。

创新一直是推动瑞士VAT发展的源动力,使其在真空阀门及其应用领域赢得了地位。多年来,一直遵循“零缺陷”的原则来生产真空阀门,这取决于过程中的使用体验、个人质量责任,并与价值增值链保持的密切合作。在企业内部互联网管理系统的帮助下,VAT组织,管理和记录公司在运作过程中有关作业。这包括对过程结果的测量和评价,业务流程的不断改进和优化,并与世界上的标尺进行比较。公司是经ISO 9001和ISO14001认证的,并定期进行其它的外部评估。

VAT主要产品:

闸阀、钟摆阀、Vatterfly 阀

控制阀

半导体生产用输送阀门

平筛光电管生产用输送阀门

角阀和隔膜阀

加速器和同步加速器用特殊阀门

气体用特殊阀门

连接部件

多阀门模块, 加热器, 镀膜

主要型号:

010系列、012系列、081系列、091系列、108系列、110系列、121系列、140系列、150系列、152系列、162系列、168系列、615系列、640系列、641系列、650系列、652系列、022系列、032系列、043系列、075系列、076系列、066系列、211系列、214系列、216系列、245系列、264系列、471系列、773系列、790系列、790系列

VAT工易谷自营店

主营产品

控制阀

联系方式

15921902320
info@gongyigu.com
供应产品分类
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VAT 传输阀 Series 053
VAT 传输阀 Series 053
产品编码: P5321969396212563971

VAT 传输阀 Series 053

品      牌
VAT
型      号
数      量
型号规格
产品型号 介质 公称通径(DN) 公称压力(PN) 材质 工作压力 驱动方式 适用温度 连接方式
操作
05312-LA24
产品介绍

采用 L-Motion 技术的 053 Transfer Insert 特别适用于蚀刻或 CVD 等腐蚀工艺。L-Motion 技术通过单轴气动执行器提供闸门的 L-motion。在这种 L 运动中,闸板垂直移动到关闭位置,与阀体没有任何接触,在最后的运动中,它被水平推到闸阀座上,密封件同时以完全相同的压力接触闸板座。这不仅避免了任何摩擦和潜在的颗粒产生,还大限度地减少了密封磨损。

为了进一步减少颗粒的产生和活化,闸门配有硫化密封件。这是一种比标准 O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解决方案,尽管标准 O 型圈密封作为选项提供。轴馈通采用高度耐用的金属焊接波纹管密封。

为了确保闸门的整个长度具有相同的密封水平,闸门配备了一个特殊的压杆。该条保证了浇口每个区域的密封压力均匀分布。

在断电的情况下,05.3可以气动锁定在关闭位置。

带 L-Motion 的 05.3 转换插件专为延长免维护操作而设计(≤ 3 百万次循环,直到第一次服务)。

053 系列已安装在各种半导体生产工艺中的数百个要求苛刻的应用中,证明了其可靠性。053 系列具有坚固的设计以及减少和易于维护的特点,在各个方面都令人信服。

  • 01
    性能特点
    • 在腐蚀性过程条件下可靠运行
    • L-Motion 技术可避免粒子产生和激活
    • 用于均匀浇口压力分布的压杆
    • 波纹管密封轴馈通
    • 延长免维护周期
    • 平稳、低冲击运动
    • 正常运行时间长/性能不受限制
    • 快速操作
    • 运营成本低
  • 02
    技术参数

售后服务
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