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ENTEGRIS工易谷自营店
自营
产品数量:16

Entegris于1966年成立,作为一家与高科技制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司,我们拥有全球基础设施,其中包括战略布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。拥有技术精湛的团队成员、设施和资源以帮助您解决技术挑战。致力于净化气体、流体和周围工厂环境等过滤产品的研究开发,多年来通过不断的研究创新,提高产品性能及品质,满足客户需求。

产品和解决方案包括:

净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品

分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件

储存和输送有毒气体的气体输送系统

用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人

提供纯度高的表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层

用于高性能应用的石墨和碳化硅

用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘

主要产品:

气体过滤器、气体扩散器、过滤器、气体过滤膜、气体净化器、液体过滤器、液体净化器、托盘、化学品、石墨、涂料、碳化硅

化学品输送系统、集成流量控制器、比例控制阀、浓度监测仪、电子流量计、气体扩散器、快速排气扩散器、化学空气过滤器、预过滤器外壳和空气循环系统、化学过滤器、过滤器外壳

主要型号:

PS14、AMC、UPW、PSP、PEH、HP/HS

ProE-Vap 100、NT6510、NT6500、InVue6550、NT6300、InVue GV148、InVue CR288、InVue NT4400、Chambergard FV50D XL、Chambergard BGN、VaporSorb CSP-32、E2000、VaporSorb FAC、E2600

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联系方式

15921902320
info@gongyigu.com
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ENTEGRIS 化学过滤器 VaporSorb FAC
ENTEGRIS 化学过滤器 VaporSorb FAC
产品编码: P5330626720233947139

ENTEGRIS 化学过滤器 VaporSorb FAC

品      牌
型      号
数      量
型号规格
产品型号 材质 流量范围 重量 防护等级 环境温度 工作压力 外形尺寸 所用技术 额定功率 额定电压 液体温度 过滤方式 过滤介质 过滤尺寸
操作
VaporSorb FAC
产品介绍

VaporSorb系列混合化学空气过滤器旨在为 22 纳米以下节点的先进半导体制造环境提供保护。 Entegris VaporSorb 过滤器有助于降低高流量设施应用中不需要的空气分子污染 (AMC) 水平。 Entegris VaporSorb FAC 过滤器可针对任何类型的空气处理装置安装进行配置,并且特别适合补充空气 (MUA) 和回风处理 (RAH) 应用。 Entegris VaporSorb FAC 过滤器使用我们广泛的洁净室环境水平数据库设计,以提供大的效率和污染物去除。

  • 01
    性能特点

    提供保护,防止强酸和弱酸以及有机物和碱(如氨),减少晶圆缺陷,提高产量并延长设备正常运行时间

    具有优化的吸附剂混合物的特定应用过滤器针对并去除每个工艺工具关注的污染物,大限度地减少介质浪费并延长使用寿命

    任何 FFU、工具内、设备工厂接口或过程模块安装的灵活配置简化了安装和集成

    Entegris 拥有的过滤器制造为特定于晶圆厂的优化介质提供快速周转

  • 02
    技术参数

产品资料
  • ENTEGRIS-化学过滤器-VaporSorb FAC.docx
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