MPS系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供 100 amu 和 200 amu 两种版本,能够灵活地执行各种功能,包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。
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- 双灯丝
- 现场可更换电子倍增器
- 可现场更换的阳极、阴极和排斥极灯丝组件
- 可互换的传感器和电子设备
- TCP/IP 以太网连接
- 较短的传感器可max限度地减少安装空间
- max模拟扫描和选定峰值的每点数据速率为 3 ms
- MDPP <1.5E-14 Torr
- 传感器在洁净室环境中组装、测试和双重包装
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- 传感器长度:14.3 厘米
- 质量范围:100 amu
- 探测器类型:FC
- 灵敏度 (FC):3E-4 amps/Torr
- 灵敏度 (EM):NA
- min可检测分压 (3):2.6E-12 Torr
- max传感器工作温度 (FC):200°C
- max传感器工作温度 (EM):不适用
- 灯丝类型选项:双 Y2O3/Ir 灯丝
- 分辨率 (1):<1 amu 宽
- 温度系数 (2):<1%/°C
- 每点max数据速率:3 ms
- 零爆炸(@质量 2):<100 ppm
- max工作压力:5E-4 Torr
- max烘烤温度:300 °C
- 电源输入:20-30 VDC