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测量范围：0.005μm - 16.00μm
分度值：－
精度：0.05μ
表头行程：－
X轴（横导轨）：100mm
Z1轴（传感器）：40mm
Z轴（立柱）：400mm
X轴(L=X轴导轨移动距离)：±(1+L/300)μm
Z1轴(H=Z1轴方向测量高度：±(1.2+10H/100)μm
X轴：RA：0.005μm - 16.00μm
Z1轴：±20μm、±40μm、±80μm
取 样 长 度 L：0.25mm、0.80mm、2.50mm、自动
评 定 长 度：1L - 5L(可选 L为取样长度)
测量行程长度：3L - 7L(可选 L为取样长度)
示值误差 1：0.001μm
示值误差 2：≤±7％
半径R ≤10mm：±1.2μm
半径R 10mm≤R≤25mm：±1.2+（R/12)μm
半径R 25mm≤R≤300mm：±1.2+（R/8)μm
半径R 300mm≤R：±1.2+（R/4)μm
