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联系方式
测量范围:0.005μm - 16.00μm
分度值:-
精度:0.05μ
表头行程:-
X轴(横导轨):100mm
Z1轴(传感器):50mm
Z轴(立柱):400mm
X轴(L=X轴导轨移动距离):±(1+L/300)μm
Z1轴(H=Z1轴方向测量高度:±(1+8H/100)μm
X轴:RA:0.005μm - 16.00μm
Z1轴:±20μm、±40μm、±80μm
取 样 长 度 L:0.25mm、0.80mm、2.50mm、自动
评 定 长 度:1L - 5L(可选 L为取样长度)
测量行程长度:3L - 7L(可选 L为取样长度)
示值误差 1:0.001μm
示值误差 2:≤±7%
半径R ≤10mm:±1.0μm
半径R 10mm≤R≤25mm:±1.0+(R/12)μm
半径R 25mm≤R≤300mm:±1.0+(R/8)μm
半径R 300mm≤R:±1.0+(R/4)μm