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测量范围:-
分度值:-
精度:0.1μ
表头行程:-
X轴(横导轨):100mm
Z1轴(传感器):40mm
Z轴(立柱):400mm
X轴(L=X轴导轨移动距离):±(1.5+L/300)μm
Z1轴(H=Z1轴方向测量高度:±(1.2+10H/100)μm
直线度:0.2μm/60mm
光栅分辨率:0.1μm
分辨率:0.1μm,传感器类型:光栅传感器
移动方向:前/后 双方向,测力:0.5-6g,测针针尖:硬质合金 R:0.05mm、0.01mm
爬坡角度:上升77度 下降88度
测量速度:0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8个)
定位速度:0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8个)
图形放大:可任意缩小、放大
A型综合调整台:X轴水平倾斜调整范围:±30°,Y轴方向调整范围:±7.5mm,Z轴回转可调360度(带微调装置)
B型综合调整台:X轴水平倾斜调整范围:0-60°,Yθ1:0-1.5度,Zθ1:0-2.5度,Zθ2:0-1.5度
电源:220-240V AC, 50HZ,单独地线;最大功率消耗450W