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测量范围：－
分度值：－
精度：0.1μ
表头行程：－
X轴（横导轨）：220mm
Z1轴（传感器）：60mm
Z轴（立柱）：500mm
X轴(L=X轴导轨移动距离)：±(1+L/300)μm
Z1轴(H=Z1轴方向测量高度：±(0.8+6H/100)μm
直线度：0.15μm/60mm
光栅分辨率：0.1μm
分辨率:0.1μm,传感器类型：光栅传感器
移动方向：前/后 双方向,测力:0.5-6g,测针针尖:硬质合金 R：0.05mm、0.01mm
爬坡角度：上升77度 下降88度
测量速度：0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8个)
定位速度：0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8个)
图形放大：可任意缩小、放大
A型综合调整台：X轴水平倾斜调整范围：±30°,Y轴方向调整范围:±7.5mm，Z轴回转可调360度(带微调装置)
B型综合调整台：X轴水平倾斜调整范围：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度
电源：220-240V AC, 50HZ，单独地线；最大功率消耗450W
