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Agilent Varian SH-110泵拥有先进的功能，包括4.0CFM抽速以及5.0×10 -2托的最终压力。SH-110干式涡旋真空泵的设计便于集成到原始设备制造商（OEM）系统。这种单级泵为110升/分钟的泵送速度（60赫兹功率）和50毫托（0.07毫巴）的极限压力，是最终用户理想的应用程序。SH-110泵符合欧盟指令（CE），加拿大标准委员会（CSA）和Semi S2-0200的要求。
特点：
低温运行
1/4低功耗马力电机
内置排气阀，低噪音的生产
排气口可移动，在狭小的空间仍具有灵活性，
高压条件下高抽速，可快速抽气
低重量，装有方便的提手
内置故障安全隔离阀，保护真空系统
通用100-230 VAC电源，方便全球安装
自动空气镇流器进行有效的水分处理
快速密封替换，实现低成本使用
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