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HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。硅批处理技术可实现小型化和低成本大批量生产。特殊要求可以从1E-5mbar到1E-2mbar的标准测量范围扩展到1E-1mbar。Heimann真空传感器HVS是微型皮拉尼(Pirani)型传感器,基于薄微机械膜上的加热电阻器结构,传感器采用小巧耐用的TO型金属外壳。
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