KLA带有 6 路连接器探头与CDE工具制造的探头非常相似,但探头头不可互换,因此应格外小心,尤其是当两个系统都在现场使用时。CDE兼容探头具有独特的黑色物镜转换器。所有 Jandel 探头都具有高水平的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪验证半径、间距和平面度的规格。负载由电子测力计验证。
-
-
- 探头间距:0.500mm,0.635mm,1.00mm,1.016mm,1.27mm,1.591mm(针至针头)
- 公差:+/- 10微米
- 布置:线性或方阵列
- 针头:碳化钨直径为0.4mm(直径为0.3mm的距离间距)
- 针头选项:50%osmium合金提示可用
- 半径:12.5、25、40、100、150、200、300、500微米
- 缩放到垫子:0.5毫米
- 平面性:+/- 0.025mm或更好
- 负载:固定在10克和250克之间
- 电气泄漏:500伏特的针之间的1013欧姆电阻