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MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器，与我们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器，可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3 mm的Z轴。
整个平台可以在短短几分钟内安装在SEM的载物台上，也可以很容易地将其移除，以使显微镜恢复到以前的状态。
MM3A-EM微操作器配备了低电流、低容量的测量能力，并与探测工具硬件和软件套件完全兼容，包括带电接触测试仪和电子束感应电流成像模块等。
该平台还可以安装温度高达450°C的加热台。其他定制可根据要求提供（e，g，集成LED照明）。
-易于安装和拆卸，具有高度灵活性
-带模块化组件的即插即用系统
-大多数SEM/FIB仪器的接口解决方案
-快速设置
-大样本的充足空间
-大工作范围（30 mm x 30 mm子阶段行程）
-开创性的布线技术
-直观的控制界面和软件
-用户友好且易于学习
-快速简便的探针头更换
-紧凑、独立的电子设备
-使用多个操纵器轻松工作
-好的稳定性
-低漂移（1纳米/分钟）
-可靠运行（一年耐久性试验）
-几乎不受振动影响
-手动快速预定位
-高操作速度（高达10毫米/秒）
-亚纳米分辨率（0.25纳米）
-无齿隙或反向间隙
-广泛的工作范围
-一个驱动器中的粗排量和细排量
三轴微型操作器
A=左/右B=上/下C=进/出
低容量、低电流测量
变电站
产地：德国
询价车
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