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随着半导体设计和工艺复杂性的增加,晶圆制造成本飙升。除其他外,成本的上升限制了晶圆制造过程中的检查步骤的数量。然而,当制造3D结构和执行复杂的多重图案化步骤时,前沿晶体管的小体积特征尺寸使得良率-杀伤缺陷几乎与噪声难以区分,并且小的变化可能累积以产生良率-致死缺陷。所有这些挑战都表明需要更频繁的检查。
Enlight光学检测系统是Applied重塑工艺控制方法的一部分,使芯片制造商能够实现所需的高检测灵敏度,更频繁地进行检测,收集更多数据,加快产量,并降低每片晶圆的成本。该系统将业界的快速与高分辨率和先进的光学器件相结合,每次扫描可捕获更多数据。其独特的架构具有市场上更高的数值孔径,可实现高分辨率扫描和3D偏振控制,从而抑制晶圆噪声。它也是一个同时具有明场和灰场检测通道以及灵活图像计算的系统。所有这些功能都可以在生产中生成高质量的大数据。
产地:美国
探测器:明场、灰场
晶体管:栅极环绕
载物台:高速
偏振控制:3D
技术:ExtractAI
系统:SEMVision
用途:缺陷控制
检测内容:颗粒、残留物、划痕、偏移等
图案控制:否