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3D Micromac-激光样品制备系统-microPREP PRO.pdf下载
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microPREP PRO是用于微米级激光样品制备的工具。它使基于激光的样品制备能够用于各种样品制备应用。它补充了现有的样品制备方法，如离子束处理。microPREP PRO可以烧蚀金属、半导体、陶瓷、聚合物和化合物材料。它为材料和工艺开发以及失效分析创造了新的前景。microPREP PRO系统的主要组件是一个激光源，可以实现高精度的高消融率。根据个人准备需要，可提供不同的激光源。microPREP PRO的定位系统配有压电执行器和两个摄像头，使用户可以将样本直接带到超准确的位置，以完成所需的准备任务。集成清洁系统可防止光学元件受到污染。
