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天津赛力斯自动化科技有限公司

企业认证

品牌授权

产品数量：17443

授权经销品牌

代理品牌

企业类型：

公司

法人姓名：

陆春梅

注册号：

120112000100742

经营状态：

存续

成立日期：

2010-11-23

注册资本：

500万人民币

省份：

天津

组织机构代码：

56610139-6

统一社会信用代码：

911201125661013965

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天津赛力斯自动化科技有限公司

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sales@celiss.com

供应产品分类

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产品编码： P2a75052

CDE 四点探针电阻仪 ResMap 178

品牌

CDE

型号

数量

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型号规格

产品型号	精度	防护等级	工作温度	外形尺寸	测量频率	储存温度	安装配置	测量时间	电阻范围	其他特性	技术类型	类型	操作
ResMap 178													收藏询价

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产品介绍

ResMap Model 178已成为成本效益电阻率测量的行业标准。该四点探针旨在满足工艺开发和工具表征工程师的需求，具有所需的准确性、可重复性和可靠性。其庞大的安装基础证明了其性能、易用性和低拥有成本。

CDE的成立旨在为半导体及相关行业开发和制造高性能、高性价比的晶圆计量工具。CDE ResMap是一系列适用于各种应用的自动电阻率测绘系统。4点探针测量工具是一种仪器，用于测量导电介质（通常是半导体应用的薄膜）中的薄层电阻（或Rs）。

01

性能特点
- 准确性
- 可重复性
- 可靠性
02

技术参数
- 晶片处理：手动装载
- 晶圆尺寸：2英寸至8英寸
- 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
- 典型测量时间：每个站点1秒
- max吞吐量：每片晶圆1分钟（49个站点）
- 测量范围：2米Ω/-5米Ω/（可以优化到1米Ω/）
- 重复性（1σ，典型）：≤±0.02%（静态或Rs-pack）；≤±0.1%（动态近点）
- 精度：使用NIST traceableResCal标准≤±0.5%
- min边缘排除：1.5mm（探头中心到薄膜边缘）
- 交流电源：100V至240V<10 KVA
- 产地：美国