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ULFA膜组件MJ系列.pdf下载
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联系方式
膜组件适合脱气、给气的结构,它不透液体,只透气体。选项多,以多种类型迎合多种用途-可膜内处理。膜外部磨皮减少结露的产生,不使用氮气,能提高一定的效率,可按不同组件可脱至达ppb单位。
显影液用
处理流量大
产地:韩国
膜材料:PFA
膜面积:约0.33 m2
本体(真空侧):SUS 304
接头(润湿侧):PTFE
标准流速:50 CC/min
标准流量时的压力损失:0.05 MPa(0.05 kg/cm2)
除气性能:8.4 ppm以下⇒7.2 ppm以下
脱气标准:22~24 ℃ 超纯水
连续流量:50 kΩ
连续流速:50 CC/min
真空压力:100 Torr
尺寸:Ø 102 × 155 mm(不包括配件)
液体入口直径:Ø6管接头
液体出口直径:Ø6管接头
真空孔:PT 1/ 4
Max液体温度:40 ℃或以下
Max工作压力:0.2 MPa(0.2 kg/cm2)指模块内部压力
正常压力:0.2 MPa(0.2kg/cm2)
水容量:200 ml
去离子水的脱气、超音波清洗用水脱泡沫处理、含有表面活性剂的液体