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SWAGELOK SCF 系列 UHP 气体过滤器旨在满足 SEMI E49.8-96 的严格要求。 凭借专有的 Membralox 陶瓷元件和 316L VAR 不锈钢外壳，SCF 系列 UHP 过滤器是许多要求苛刻的气体过滤应用的解决方案。
Membralox陶瓷过滤技术
原装 Swagelok VCR 端面密封接头
在大流速下 0.003 µm 颗粒去除率大于 99.9999999 %
流量达 2700 标准升/分钟
高颗粒去除效率
低的颗粒脱落
良好的的水分干燥特性
低的释气
良好的的化学相容性
高差压等级
直列式全焊接结构
大流速：30、225、600、900 和 2700 标准升/分钟
端接：1/4、1/2 和 3/4 英寸一体式外螺纹 VCR 面密封接头； 1/4 英寸内螺纹 VCR 面密封接头
