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ECS 5 端口 3 位 (5/3) 伺服比例方向阀设计用于使用压缩空气和其他中性气体运行。其高频响应 (110 Hz)、压力平衡设计和低泄漏（100:1 调节比）使其成为开环和闭环控制系统的选择。ECS 高速伺服比例方向控制阀有两种不同的流量选项，订货代码 01 和 05，可在高流量和低流量应用中实现大分辨率。借助两个研磨阀芯和阀套，阀门的闸门元件，可在 vac...20.7 bar (vac...300 psig) 的宽压力范围内实现 0 至 585 slpm 的流量。
5/3 双向比例流控制
直动式直线力马达
无限可变阀门定位（3 个位置）
低滞后
高带宽
压力平衡设计
快速换档时间
低泄漏
