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59.0 UHV 全金属可变泄漏阀允许准确控制非常小的气体流量(1·10-10 mbar ls)。 凭借其全金属设计,它非常适合 UHV 和UHV 工艺中的气体计量要求。
59.0 的特殊控制功能保证了可重复的准确气体流量设置,增强了过程控制能力。它还在整个生命周期内提供可靠、无泄漏的关闭,没有任何密封疲劳的风险。
全金属设计——不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸门密封——使 59.0 还具有对腐蚀性和腐蚀性气体的高耐受性。
59.0 已经安装在各种工艺条件下的数千种苛刻应用中,证明了其可靠性。它已成为 UHV 和 XHV 应用中可变泄漏阀的标准解决方案。