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ENTEGRIS工易谷自营店
自营
产品数量:16

Entegris于1966年成立,作为一家与高科技制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司,我们拥有全球基础设施,其中包括战略布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。拥有技术精湛的团队成员、设施和资源以帮助您解决技术挑战。致力于净化气体、流体和周围工厂环境等过滤产品的研究开发,多年来通过不断的研究创新,提高产品性能及品质,满足客户需求。

产品和解决方案包括:

净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品

分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件

储存和输送有毒气体的气体输送系统

用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人

提供纯度高的表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层

用于高性能应用的石墨和碳化硅

用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘

主要产品:

气体过滤器、气体扩散器、过滤器、气体过滤膜、气体净化器、液体过滤器、液体净化器、托盘、化学品、石墨、涂料、碳化硅

化学品输送系统、集成流量控制器、比例控制阀、浓度监测仪、电子流量计、气体扩散器、快速排气扩散器、化学空气过滤器、预过滤器外壳和空气循环系统、化学过滤器、过滤器外壳

主要型号:

PS14、AMC、UPW、PSP、PEH、HP/HS

ProE-Vap 100、NT6510、NT6500、InVue6550、NT6300、InVue GV148、InVue CR288、InVue NT4400、Chambergard FV50D XL、Chambergard BGN、VaporSorb CSP-32、E2000、VaporSorb FAC、E2600

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主营产品

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联系方式

15921902320
info@gongyigu.com
供应产品分类
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ENTEGRIS 过滤器外壳 E2600
ENTEGRIS 过滤器外壳 E2600
产品编码: P5330625921994981379

ENTEGRIS 过滤器外壳 E2600

品      牌
型      号
数      量
型号规格
产品型号 材质 重量 防护等级 环境温度 工作压力 外形尺寸 过滤方式 过滤介质 过滤尺寸 类型
操作
E2600
产品介绍

Entegris E2600 过滤器外壳用于化学净化光刻曝光工具中使用的环境空气。 E2600 过滤系统可保护曝光工具免受各种空气分子污染物的影响。 E2600 过滤器外壳设计用于与 Entegris 化学空气过滤器一起使用,以保护曝光工具中的化学放大抗蚀剂和暴露的光学表面。当配备 Entegris 混合介质化学空气过滤器时,E2600 过滤器外壳可提供先进的保护,防止空气中的分子酸、碱和可冷凝有机化合物。在 E2600 内部,专门的化学过滤器以多级串联配置排列,以提供保护,防止严重的污染事件,例如溶剂和显影剂化学品的意外溢出。

  • 01
    性能特点

    去除酸、碱和可冷凝的有机物

    内部 HEPA 过滤器确保颗粒控制

    用于性能监控的堆栈间示例端口

    占地面积小,节省洁净室空间

    刚性结构确保可靠、无故障运行

    双入口和出口过渡,用于简单、硬或灵活的管道连接

  • 02
    技术参数

产品资料
  • datasheet-e2600-filter-housing-2446.pdf
    下载
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