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Entegris E2600 过滤器外壳用于化学净化光刻曝光工具中使用的环境空气。 E2600 过滤系统可保护曝光工具免受各种空气分子污染物的影响。 E2600 过滤器外壳设计用于与 Entegris 化学空气过滤器一起使用，以保护曝光工具中的化学放大抗蚀剂和暴露的光学表面。当配备 Entegris 混合介质化学空气过滤器时，E2600 过滤器外壳可提供先进的保护，防止空气中的分子酸、碱和可冷凝有机化合物。在 E2600 内部，专门的化学过滤器以多级串联配置排列，以提供保护，防止严重的污染事件，例如溶剂和显影剂化学品的意外溢出。
去除酸、碱和可冷凝的有机物
内部 HEPA 过滤器确保颗粒控制
用于性能监控的堆栈间示例端口
占地面积小，节省洁净室空间
刚性结构确保可靠、无故障运行
双入口和出口过渡，用于简单、硬或灵活的管道连接
