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Entegris 是微电子行业空气分子污染 (AMC) 控制领域的佼佼者。 我们的 VaporSorb CSP-32 化学空气过滤器为曝光工具光学元件和光刻胶提供保护。 CSP-32 过滤器包含碳和聚合化学介质的独特组合，可针对并去除分子酸（如 HCl、H2SO4 和 HNO3）、酸形成物质（如 SO2）、分子碱（如 NH3、NMP 和 胺）和可冷凝有机化合物，定义为沸点大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。专门设计用于 Entegris 的定制过滤器外壳，例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 过滤器以串联方式使用，以提供保护，防止意外和升高的污染事件，包括意外的溶剂和显影剂化学品泄漏。
不对称滤波器设计可防止 HDMSO 转换为 TMS
去除酸、碱和可冷凝的有机物
折叠式过滤器设计采用刚性深框
低压降使多个保护层的串联过滤器布局成为可能
堆栈间采样端口，便于监控
