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ENTEGRIS工易谷自营店
自营
产品数量:16

Entegris于1966年成立,作为一家与高科技制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司,我们拥有全球基础设施,其中包括战略布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。拥有技术精湛的团队成员、设施和资源以帮助您解决技术挑战。致力于净化气体、流体和周围工厂环境等过滤产品的研究开发,多年来通过不断的研究创新,提高产品性能及品质,满足客户需求。

产品和解决方案包括:

净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品

分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件

储存和输送有毒气体的气体输送系统

用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人

提供纯度高的表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层

用于高性能应用的石墨和碳化硅

用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘

主要产品:

气体过滤器、气体扩散器、过滤器、气体过滤膜、气体净化器、液体过滤器、液体净化器、托盘、化学品、石墨、涂料、碳化硅

化学品输送系统、集成流量控制器、比例控制阀、浓度监测仪、电子流量计、气体扩散器、快速排气扩散器、化学空气过滤器、预过滤器外壳和空气循环系统、化学过滤器、过滤器外壳

主要型号:

PS14、AMC、UPW、PSP、PEH、HP/HS

ProE-Vap 100、NT6510、NT6500、InVue6550、NT6300、InVue GV148、InVue CR288、InVue NT4400、Chambergard FV50D XL、Chambergard BGN、VaporSorb CSP-32、E2000、VaporSorb FAC、E2600

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15921902320
info@gongyigu.com
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ENTEGRIS 化学品输送系统 ProE-Vap 100
ENTEGRIS 化学品输送系统 ProE-Vap 100
产品编码: P5330627827643449347

ENTEGRIS 化学品输送系统 ProE-Vap 100

品      牌
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操作
ProE-Vap 100
产品介绍

ProE-Vap 100 输送系统专为用于原子层沉积 (ALD) 和化学气相沉积 (CVD) 工艺的固体前体而设计。它为用于当前和未来技术节点的各种固体材料提供稳定的质量通量。固体前体由于其低蒸气压和有限的热稳定性而难以始终如一地输送到沉积室中。 ProE-Vap 系统克服了这些问题,提供了业内解决方案。与其他蒸发器相比,ProE-Vap 输送系统允许在较低温度下更稳定地输送更高的固体前体,从而降低 ALD 和 CVD 的拥有成本。它大限度地减少了化学浓度漂移,从而以更少的工具停机时间实现更高的晶圆产量。自 2008 年以来,ProE-Vap 在大批量制造环境中展示了高可靠性和强大的性能。它支持交付制造高度复杂的微电子器件制造所需的各种无机和过渡金属前体。

  • 01
    性能特点

    在较低温度下提供更高的质量通量

    支持气动和手动阀门选项

    良好的整体性能,在汽化器使用寿命期间具有一致的通量

    能够利用前体并大限度地减少过热造成的分解

  • 02
    技术参数

产品资料
  • datasheet-proevap-100-delivery-system-7827.pdf
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