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Entegris 正在使用创新的流量控制技术解决当今的流量控制挑战。 InVue集成流量控制器 (IFC) NT6510 专为超纯液体化学品、去离子水和 CMP 浆料的使用点化学品混合和分配而设计。 NT6510 控制器还专为控制气泡产生介质而设计，专为需要中低流速的应用而设计。 它是小的 InVue 集成流量控制器，可节省液体处理系统中的宝贵空间。 我们的 IFC 使用经过验证且可靠的差压流量测量技术和先进的闭环过程控制。 视觉指示器为预防性维护、故障排除和警报状况提供诊断，使用户能够集成更准确的功能。
与其他常用技术相比，在易产生气泡的介质中准确
用于同时双输出的集成压力传感器 - 流量和压力
占地面积小，节省空间且易于安装
高重复性，实现过程控制
快速响应准确分配率
LED 状态和离散报警输出
