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ENTEGRIS工易谷自营店
自营
产品数量:16

Entegris于1966年成立,作为一家与高科技制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司,我们拥有全球基础设施,其中包括战略布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。拥有技术精湛的团队成员、设施和资源以帮助您解决技术挑战。致力于净化气体、流体和周围工厂环境等过滤产品的研究开发,多年来通过不断的研究创新,提高产品性能及品质,满足客户需求。

产品和解决方案包括:

净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品

分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件

储存和输送有毒气体的气体输送系统

用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人

提供纯度高的表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层

用于高性能应用的石墨和碳化硅

用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘

主要产品:

气体过滤器、气体扩散器、过滤器、气体过滤膜、气体净化器、液体过滤器、液体净化器、托盘、化学品、石墨、涂料、碳化硅

化学品输送系统、集成流量控制器、比例控制阀、浓度监测仪、电子流量计、气体扩散器、快速排气扩散器、化学空气过滤器、预过滤器外壳和空气循环系统、化学过滤器、过滤器外壳

主要型号:

PS14、AMC、UPW、PSP、PEH、HP/HS

ProE-Vap 100、NT6510、NT6500、InVue6550、NT6300、InVue GV148、InVue CR288、InVue NT4400、Chambergard FV50D XL、Chambergard BGN、VaporSorb CSP-32、E2000、VaporSorb FAC、E2600

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联系方式

15921902320
info@gongyigu.com
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ENTEGRIS 浓度监测仪 InVue GV148
ENTEGRIS 浓度监测仪 InVue GV148
产品编码: P5330630644290551811

ENTEGRIS 浓度监测仪 InVue GV148

品      牌
型      号
数      量
型号规格
产品型号 安装方式 输出方式 精度 重量 电源 工作温度 响应时间 外形尺寸 稳定性 检测类型 盐度 检测方式 浓度值 浓度分辨率 重复性 可测元素种类
操作
InVue GV148
产品介绍

InVue GV148 液体浓度监测器可在不干扰或中断过程的情况下,为化学品混合、加标和稀释提供实时过程流体浓度测量。GV148 液体浓度监测仪集成在一个紧凑的高的纯度封装中,可提供经济的高性能浓度监测,从而提高生产线前端 (FEOL)、生产线后端 (BEOL) 的工艺效率 ) 和子晶圆厂交付化学系统。 这种增加的过程可见性导致更严格的过程控制、更高的晶片产量、减少的化学品使用和减少的废料。GV148 监测仪采用经过验证的折射率技术,封装在紧凑的配置中,可提供准确和可重复的液体浓度测量方法。 在线传感器可准确测量过程流体的折射率 (IoR) 和温度。 然后使用该信息来计算过程流体浓度。

  • 01
    性能特点

    使用反射指数测量 CMP 浆料和非导电流体

    带有集成电子元件的小尺寸可大程度地减小工具尺寸

    HMI 软件支持实时数据记录、分析和定制

    窗户清洁端口可轻松访问蓝宝石窗户进行清洁

  • 02
    技术参数

产品资料
  • datasheet-invue-gv148-liquid-concentration-monitor-10898.pdf
    下载
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