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ENTEGRIS工易谷自营店
自营
产品数量:16

Entegris于1966年成立,作为一家与高科技制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司,我们拥有全球基础设施,其中包括战略布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。拥有技术精湛的团队成员、设施和资源以帮助您解决技术挑战。致力于净化气体、流体和周围工厂环境等过滤产品的研究开发,多年来通过不断的研究创新,提高产品性能及品质,满足客户需求。

产品和解决方案包括:

净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品

分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件

储存和输送有毒气体的气体输送系统

用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人

提供纯度高的表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层

用于高性能应用的石墨和碳化硅

用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘

主要产品:

气体过滤器、气体扩散器、过滤器、气体过滤膜、气体净化器、液体过滤器、液体净化器、托盘、化学品、石墨、涂料、碳化硅

化学品输送系统、集成流量控制器、比例控制阀、浓度监测仪、电子流量计、气体扩散器、快速排气扩散器、化学空气过滤器、预过滤器外壳和空气循环系统、化学过滤器、过滤器外壳

主要型号:

PS14、AMC、UPW、PSP、PEH、HP/HS

ProE-Vap 100、NT6510、NT6500、InVue6550、NT6300、InVue GV148、InVue CR288、InVue NT4400、Chambergard FV50D XL、Chambergard BGN、VaporSorb CSP-32、E2000、VaporSorb FAC、E2600

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联系方式

15921902320
info@gongyigu.com
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ENTEGRIS 气体扩散器 Chambergard FV50D XL
ENTEGRIS 气体扩散器 Chambergard FV50D XL
产品编码: P5330631017713631235

ENTEGRIS 气体扩散器 Chambergard FV50D XL

品      牌
型      号
数      量
型号规格
产品型号 重量 防护等级 环境温度 外形尺寸 其他特性 材料
操作
Chambergard FV50D XL
产品介绍

FV50D XL 扩散器是通过小化负载锁定排气周期时间来可靠地增加系统吞吐量的选择。 这款二代扩散器可以承受更高的工作压力 (60 psig),额定循环次数为 100 万次,从而大大提高了性能并降低了拥有成本。 我们的 Chambergard系列产品可快速排放到大气中,而不会干扰腔室中的晶圆或向晶圆添加颗粒。 它们将扩散器的流动特性与过滤器相结合,以提高吞吐量。 凭借我们的全球基础设施,我们可以提供 Chambergard 快速排气扩散器,以满足您在全球范围内的需求。

  • 01
    性能特点

    额定循环次数为 1,000,000 次,设计用于在更高的入口压力下运行

    紧凑型扩散器单元中的烧结镍技术可在所有应用中提供良好的性能

    从进入的气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒,大限度地减少晶圆缺陷

    易于安装/改装到现有工具中,大限度地减少停机时间

  • 02
    技术参数

产品资料
  • datasheet-chambergard-fv50-gas-diffusers-5804.pdf
    下载
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