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ENTEGRIS工易谷自营店
自营
产品数量:16

Entegris于1966年成立,作为一家与高科技制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司,我们拥有全球基础设施,其中包括战略布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。拥有技术精湛的团队成员、设施和资源以帮助您解决技术挑战。致力于净化气体、流体和周围工厂环境等过滤产品的研究开发,多年来通过不断的研究创新,提高产品性能及品质,满足客户需求。

产品和解决方案包括:

净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品

分配、控制、分析或运输过程流体的液体系统和组件

储存和输送有毒气体的气体输送系统

用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和托运人

提供纯度高的表面以实现耐磨、防腐蚀和光滑的特种涂层

用于高性能应用的石墨和碳化硅

用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘

主要产品:

气体过滤器、气体扩散器、过滤器、气体过滤膜、气体净化器、液体过滤器、液体净化器、托盘、化学品、石墨、涂料、碳化硅

化学品输送系统、集成流量控制器、比例控制阀、浓度监测仪、电子流量计、气体扩散器、快速排气扩散器、化学空气过滤器、预过滤器外壳和空气循环系统、化学过滤器、过滤器外壳

主要型号:

PS14、AMC、UPW、PSP、PEH、HP/HS

ProE-Vap 100、NT6510、NT6500、InVue6550、NT6300、InVue GV148、InVue CR288、InVue NT4400、Chambergard FV50D XL、Chambergard BGN、VaporSorb CSP-32、E2000、VaporSorb FAC、E2600

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联系方式

15921902320
info@gongyigu.com
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ENTEGRIS 预过滤器外壳和空气循环系统 E2000
ENTEGRIS 预过滤器外壳和空气循环系统 E2000
产品编码: P5330631396610277379

ENTEGRIS 预过滤器外壳和空气循环系统 E2000

品      牌
型      号
数      量
型号规格
产品型号 材质 重量 防护等级 环境温度 工作压力 外形尺寸 过滤方式 过滤介质 过滤尺寸 类型
操作
E2000
产品介绍

为扫描仪系统和小型环境的清理提供先进的二层保护。 如果需要额外的保护或没有空气处理系统,则可以化学净化环境空气。E2000 预过滤器外壳和空气循环系统是我们市场的 OEM 扫描仪集成过滤器系统的自然延伸。 E2000 系统增强了对空气中低分子量硅 (LMWSi) 和可冷凝有机物的镜片污染的保护。它满足 Nikon、ASML 和 Canon photobay 环境规范并延长 OEM 扫描仪过滤器有机物的使用寿命。作为独立系统使用,E2000 系统可以通过再循环空气和去除导致腐蚀和工艺问题的空气污染物来清洁设施。

  • 01
    性能特点

    选择吸附化学物质以大限度地提高目标 AMC(空气中的分子污染物)的容量

    匹配现有的 OEM 扫描仪过滤系统

    用于过滤小型设施的紧凑型独立解决方案

    适用于所有应用的轻松改造

    符合 Nikon、ASML 和 Canon 环境规范

  • 02
    技术参数

产品资料
  • e2000-pre-filter-housing-and-air-circulation-system-5573.pdf
    下载
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