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上海连航机电科技有限公司
企业认证
产品数量:17495
授权经销品牌
代理品牌
企业类型:
公司
法人姓名:
陆春梅
注册号:
310115002597528
经营状态:
存续
成立日期:
2015-03-04
注册资本:
500万人民币
省份:
上海
组织机构代码:
332792577
统一社会信用代码:
91310115332792577W
上海连航机电科技有限公司
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EDMUND OPTICS 阿秒多层反射镜 #16-767
EDMUND OPTICS 阿秒多层反射镜 #16-767
产品编码: P5363707519367643141

EDMUND OPTICS 阿秒多层反射镜 #16-767

品      牌
焦距
mm
型      号
数      量
型号规格
产品型号 精度 重量 防护等级 外形尺寸 焦距 动态放大倍率 视野范围 宽圆图象
操作
#16-767
直径 (mm):25.40 ±0.13
500毫米
产品介绍

极紫外光(EUV)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形。他们的多层膜中心位于65eV(19nm),带宽为6eV(1.8nm),为 S 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间为330阿秒的极紫外(EUV)脉冲。 UFI极紫外(EUV)阿秒反射镜是基于高次谐波(HHG)、自由电子激光器(FEL)或其他量子光学应用产生和整形阿秒脉冲的理想选择。可提供直径为25.4mm的平面反射镜和凹面反射镜;如果您的应用需要定制中心能量、带宽或其他规格的极紫外(EUV)多层反射镜,请与我们联系。

  • 01
    性能特点
    • 设计用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脉冲
    • 具有38%峰值反射率的多层镀膜
    • ≤1Å 表面粗糙度超抛光基底
    • 另外提供专为5nm 设计的极紫外(EUV)平面反射镜 和 极紫外(EUV)球面反射镜
  • 02
    技术参数

    直径 (mm):25.40 ±0.13

    基底: 熔融石英(Corning 7980)

    表面质量:10-5 (基质)

    涂层规格:Rs > 38% @ 65eV/19nm

    涂层: 多层EUV (19nm)

    入射角 (°):5

    有效孔径 (%):80设计波长 DWL (nm):19

    边缘: 精细研磨

    表面粗糙度(埃):<1

    中心能源(eV):65 ±2

    带宽 (eV):6

    支持的脉冲持续时间:330阿秒

    边缘厚度 ET (mm):6.35 ±0.20

    有效焦距 EFL (mm):500.00

    半径 R1 (mm):1000.00

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