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XY 轴载物台，通过在手动载物台上添加压电辅助机构，可以进行 20nm 或更小的微调。 非常适合需要高分辨率位置调整的手动平台单元和系统。可提供 25x25、40x40、60x60mm 的载物台尺寸。
注：
安装载物台时，请注意不要让千分尺支架受到震动。 否则，压电辅助机构可能会损坏。
压电辅助专用控制器（PASC）的电源关闭时，压电辅助的位置调整将改变，微调位置将移动。
载物台尺寸 [mm]：60×60
行程轴：XY 轴
粗调行程 [mm]：±6.5
精细驱动行程 [μm]：>30μm
千分尺位置：侧面
行程/旋转 [mm] ：0.5
千分尺可读分辨率 [mm] ：0.01
压电分辨率：<20nm
导向方式：延伸接触球轴承导向
主要材料：铝
涂层：黑色阳极氧化
负载能力 [N] ：49(5kgf)
行程精度/直线度 [μm] ：3
力矩容量max.：
间距 [N・m] ：4.9
滚动 [N・m] ：4.9
偏航 [N・m] ：4.9
力矩刚度
间距 [″/N·cm] ：0.6
滚动 [″/N・cm] ：0.6
平行度 [μm] ：50
正交性 [μm] ：10
运行平行度 [μm] ：20
重量 [kg] ：0.5
