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概要
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
适用于高温：可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型：接气部全不锈钢构造最适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
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