BDISCOM是一家制造公司,生产直流低压和高压/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及台式射频等离子体反应器系列,还提供发电机、电源和过程控制系统。多年来积累了丰富的设计开发经验,通过不断地研究创新,提高产品质量及性能,满足客户需求。
BDS SP 3是用于直流溅射工艺的新型电源系列。
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- 所有单元均配备用户友好的主动式触摸屏显示器
- 点火电压高达 1,1 kV
- 电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec
- 冷却空气
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- 电源要求:400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
- max功率输出:3、6 和 12kw FS
- max电压输出:1000 Volt FS
- max电流输出:6、12 和 25 安培
- 点火:1,1 KVolt
- 电弧探测器:< 200 nSec 检测,< 1 mSec DV/DT 关闭时间
- 效率:> 90 %
- 显示:触摸面板 240x128 像素
- 调节模式:功率/电压/电流(可选)
- 冷却:空气(强制)
- 接口:RS 232 - Profibus - A/D(Profibus 选项)
- 工作温度:5-40°C
- 尺寸:19” 机架 - 4HU