VSH系列数字组合真空传感器测量从大气压到高真空的绝对压力。
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- 宽测量范围:宽范围组合传感器 Pirani / Bayard Alpert
- 准确:良好的准确性和可重复性
- 抗吹性:Bayard Alpert 具有抗吹性,钇涂层双丝
- 坚固:长期测试证实了良好的使用寿命:高达 100,000 次冲击排气周期
- 长寿命:在较低压力下开启热阴极可提高耐用性
- 智能
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- 测量原理:热传导皮拉尼/热阴极 Bayard Alpert, dep.关于气体类型
- 测量范围:1000 - 5e-10 mbar (750 - 5e-10 Torr)
- max过载:4 bar
- 精度:1000 - 10 mbar: Approx. 30 % f. r., 10 - 1e-8 mbar: Approx. 10 % f. r.
- 重复性:10 - 1e-2 mbar: 2 %, 1e-2 - 1e-8 mbar: 5%
- 发射电流:9 µA、100 µA、1.0 mA、2.0 mA
- 脱气方式:阳极欧姆加热
- 反应时间:50 ms(发射电流切换<2s)
- 工作温度:+5...+60°C (Profinet +5...+50°C)
- 储存温度:-40...+65°C
- 烘烤温度:max法兰处 180°C(电源关闭)
- 供电电压:20 - 30 VDC
- 输出信号:0 - 10 VDC, min. 10 k,测量范围 1.219 - 8.6 VDC,log.EtherCAT、Profinet 除外
- 数字接口:RS485: 9,6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity EtherCAT, Profinet
- 开关点:2x 继电器,无电位,49 VAC / 2 A,30 VDC / 2 A,max 60 VA,除了 EtherCAT、Profinet
- 真空连接:DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89)
- 防护等级:高达IP54(SubD带XB15SL05适配器)
- 重量:约 475克 (VSH88)