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Sens4 真空传感器VPM-5.pdf下载
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VPM-5 SmartPirani 真空传感器基于新型技术，具有同类更好的性能，将热导真空计的可用真空测量范围扩大了 1-3 倍，从而确立了新的性能标准。SmartPirani 真空测量传感器采用 MEMS（微机电系统）传感器技术，并结合了 Sens4 自身的新型数字信号处理架构和创新测量算法。结合准密的自动化制造和校准流程，这款产品可提供无懈可击的测量性能。通过集成 MEMS 隔膜传感器，消除了热导率真空计在粗真空范围内众所周知的气体依赖性，其精度性能可与更昂贵的电容式压力计媲美。这一特性可确保对真空系统排气过程进行更准确的控制，并可防止真空系统过压。
从 1.0E-6 到 1333 mbar，9 个分度的超宽测量范围
性价比高
气体独立测量范围从 2 到 1 333 mbar
通过 USB 编程器轻松配置
0-10 VDC 可编程电压输出
数字 RS-232 或 RS-485 接口
引脚和输出与其他供应商的压力表兼容
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护，用于腐蚀性应用
可选固态设定点继电器，用于外部控制
产地：丹麦
测量范围（mbar）：1x10-6 至 1333 mbar（7.5x10-7 至 1000 托）
测量原理 1x10-6 至 1.5 mbar：MEMS Pirani 热导率
测量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 压电读数
测量原理 2 至 1333 mbar：MEMS 压电电阻膜片
精度 1x10-5 至 9.99x10-5：读数的 25%
精度 1x10-4 至 7.99 mbar：读数的 5%
精度 8.00 至 99.9 mbar：读数的 1%
精度 100 至 800 mbar：读数的 0.5%
精度 800 至 1099 mbar：读数的 0.25%
精度 1100 至 1333 mbar：读数的 0.5%
滞后 1x10-3 至 10 mbar (IS019685:2017)：1 %
磁滞 10 至 1333 mbar（IS019685:2017）：0.1%
模拟输出分辨率：16 位 (150 μV)
模拟输出更新率：124 Hz
响应时间（ISO 19685:2017）：<20 ms
温度补偿：+10 至 +50 °C
固态继电器设定点范围：5x10-6 至 1333 mbar（3.75x10-6 至 1000 托）
固态继电器触点额定值：50 V、100 mArms / mADc
固态继电器认证：UL 认证： 文件 E76270；CSA 认证： 证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证
工作环境温度：-20 至 +50 °C
介质温度：-20 至 +50 °C
存储环境温度：-40 至 +120 °C
烘烤温度（非工作）：+120 °C
Max ABS介质压力：10 Bar
安装位置：任意
防护等级，EN 60529/A2:2013：IP40
湿度：98%，无冷凝
电源电压：12-30 VDC
Max功耗：240 mW
反极性保护：是
过压保护：是
内部保险丝：100 mA（可热恢复）
分析仪器、半导体加工、真空炉、薄膜镀膜、太空模拟和飞行
